第49章 捅破一层窗户纸
第一次进入清大光刻机车间，赵国庆有些激动，直接直奔主题，几個关键技术。
“何教授，你们這光刻机用的什么光源？”
“你還真懂光刻机啊！”
赵国庆笑了笑：“书上有介绍！”
何振华說：“用的高压汞灯光源，436纳米的蓝光汞g线，這类高压汞灯光源目前已经达到国际先进水平！”
好吧，国际先进水平，国际上十年前都已经开始研究波长更短的紫光激光电源了。
赵国庆想起KMBBF晶体，前世的他发现KMBBF晶体在零下213摄氏度的时候，出现超导现象。
就在他用x光穿透KMBBF晶体，想要检测KMBBF晶体的分子结构时，发现进入超导状态的KMBBF晶体，竟然可以反射X光。
這可是了不得的发现。
X光因为有强大的穿透力，目前任何透镜都不能让他转移方向，而KMBBF晶体如果能让X光反射的话，可以通過凹面镜，缩小掩膜版的图像，对光刻机光源有着颠覆的变革。
可惜的事，发现這件事后，沒多久就挂了，沒有再研究下去。
不過，现在，他有足够的時間继续這项研究。
何振华教授继续介绍，从口气中听出的，全部是遥遥领先。
“采用的是国际先进的非接触式透镜曝光方法，成像质量高，比起三年前H大制作的接触式曝光，可以显著提高掩膜版的使用寿命，并且透镜曝光可以以掩膜版比光刻图案5:1的比例，可以制造更复杂的芯片。”
赵国庆点点头，他虽然对光刻机算不上内行，但怎么也能說是见多识广。
Intel、IBM的芯片制造厂他都进去過，从九十年代一直到2023年，国外光刻机一路演变，他還是清楚的。
“436纳米的蓝光汞g线光源，加上非接触式掩膜曝光工艺，理论上可以制造一微米制程的芯片！”
若采用多重曝光甚至可以制造500纳米制程的芯片，或者水膜浸润工艺，当然技术难度更高一些，极致可以制造250纳米芯片，這些话沒办法說。
至于用九十年代发明的KBBF晶体升级极紫外光，還有双工台提升商用制造效率，现在還是沒影的事。
能不能现在开始布局？
沒說的，肯定要干啊！
赵国庆的問題，何振华教授沒有回答，而赵国庆也发现了一些問題。
“校准采用的是人工校准！”
光刻流程不是一步到位，有时候需要反复多次，所以再次光刻，位置如果有细微的改变，往往意味着制造失败，所以需要校准。
而校准的办法就是在晶片上留下一個标志，以這個标志来校正。
何振华摇摇头。
“国内最先进的魔都电机厂都沒有合适的伺服电机，国内的光压传感器灵敏度不够，只能用人工校准，我們采用三轴人工校准装置，误差可以精确在一百纳米。”
赵国庆摇摇头，這台光刻机根本沒有商业方面的使用前途，XYZ三轴人工校准，虽然沒看他们操作，時間上肯定不会短。
“光刻胶，蚀刻氟化氢……”
“进口日本的？”
“曝光用的透镜呢！”
“进口日本尼康！”
好吧，赵国庆大概也明白了。
“之所以沒办法制造一微米制程的芯片，是不是因为晶体管连接的铝导线的原因？”
何振华惊讶的看向赵国庆，這事他可一点也沒有向赵国庆透露。
高昌明亦是长叹，這小赵一次又一次刷新他的认知。
看看何振华的表情就明白了，第一次见面的时候，是高高在上的姿态，今天呢，已经把赵国庆当成一個平等对待的人了，而现在，似乎稍微带着一点仰视。
“你怎么知道的？”
赵国庆若无其事的說道：“光源、透镜、校准，還有胶体、蚀刻材料都沒有問題，那只能是晶体管铝互联发生了問題，谁都知道，硅衬底跟金属铝会发生扩散，制程越小扩散越严重，直到不能工作！”
“我如果猜的沒错的话，你们三微米，甚至五微米制造的芯片，恐怕也不能实现设计的频率吧！”
“……”
谁都知道，为什么我就不知道，高昌明很无语。
“你怎么知道的？”
赵国庆說：“何教授，你可以翻一下1974年《微电子行业》期刊，上面就有介绍！”
“……”
知道了症结，要解决就容易了，赵国笑着对何振华說：“何教授，我有办法，你信嗎？”
“你有办法？”
“加一层隔离金属层就行！”
用一层金属层将铝与硅隔离开来，隔绝彼此扩散。
何振华摇摇头說：“我們也想着用一层金属隔离层，但還沒有找到合适的材料！”
有时候就是這么扯淡，很多时候，就因为一個小东西，阻挡技术进步多年，等到公开后，才发现，特么的就是一個屁。
“何教授，试一试用钨，上次你做发光半导体用的金属原子蒸馏器就可以，晶片上硅衬底上，先沉积一层钨薄膜，再上铝导线层。”
“真的能行？”
何振华眼睛直直的看向赵国庆，要是真能行的话，直接从五微米制程，进展到一微米制程，這意义，不可谓不大。
高昌明也坐不住了。
“国庆，科技部刚刚发的文件，要巩固五微米，攻关三微米，迈步一微米制程，你這不咸不淡的一句话，科技部发的文倒成了笑话了。”
“有這文件？我還以为我們可以生产一微米制程的芯片呢？”
“……”
何振华摇摇头。
“也不费事，设备都有，试试看吧！”
…………
赵国庆长呼一口气，能帮的也就這么些了，不過這些透镜、光刻蚀刻材料都是日本进口的，也是挺让人忧虑的。
還有就是工艺自动化，如果不解决，光刻机项目永远沒办法商用，也就是說永远沒有自动造血能力。
赵国庆跟高昌明說：“高所长，如果有可能的话，14所還是要进几台尼康的光刻机。”
现在的ASML還是個小弟，最先进的還属日本的光刻机，能搞几台进行逆向工程，积累一些技术基础，還是很有必要啊！
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