第一三八六章 光刻機的現狀(下)

作者:解剖老師
“董事長,要是Nikon在我們之前,率先攻克157nm激光器技術,率先研發成功65nm製程工藝的光刻機,我們如何應對?”

  cto湯普森知道EUV光刻機不是短時間內能研製成功的,也主張兩條腿走路,GcA研究院如今也在研發157nm激光器,由於GcA一直以研發EUV爲主,157nm激光器的技術遠不如Nikon和SVG,投資10美元,要是能夠收購SVG,拿到SVG獨有的157nm激光器需要配置的反折射鏡頭技術,不能反超Nikon,也能同Nikon並肩齊驅。

  孫董事長不同意公司收購SVG,湯普森也不理解。

  EUVLLc聯盟規劃投資2億美元,集合200多位頂尖科學家,目的就是從理論上驗證了EUV光刻機的可行性?理論驗證完成後,EUVLLc聯盟將宣佈解散,將研製EUV和EUV光刻機的難題交給GcA,據同行在一起估算,研發投資起碼要花50億美元!

  湯普森領導EUVLLc聯盟的200多位科學家,研究了2年多,還沒有驗證清楚EUV光刻機的可行性?

  “湯普森院長的擔憂也有道理,除了加強研發力量繼續研究157nm激光器技術外,艾德里安先生可以同papken先生接觸一下,看對方是否願意出售反折射鏡頭技術的專利?價格可以商量”

  papken是SVG的首席執行官。

  孫健本來不想在董事會上談論收購SVG的事情,但湯普森的提問代表GcA高層的疑惑,不得不正面迴應。

  當時因爲bSEc研究院光源研究所還沒有研發成功193nm浸沒式光刻機技術,孫健不反對GcA研究院兩條腿走路,但bSEc研究院光源研究所去年已經研發成功193nm浸沒式光刻機技術,GcA再繼續投入巨資研發157nm激光器就是多此一舉,但也不能打擊衆人的積極性。

  “好的,董事長!”

  艾德里安心裏好奇,爲什麼孫董事長不同意收購SVG?似乎對研發157nm激光器技術不是特別支持,難道還有更好的方法?明白papken不會低價出售反折射鏡頭技術的專利。

  “湯普森院長,EUVLLc聯盟一旦從理論上驗證了EUV光刻機的可行性後,要是GcA繼續研發EUV光刻機,理論上大概需要多少投資”

  孫健轉移話題,也是告訴公司高層,GcA賬上的現金流不是多了,而是遠遠不夠。

  前世,EUVLLc聯盟的幾百位頂尖科學家在一起聯合研發了6年多,發表了幾百篇科研論文,從理論上驗證了EUV光刻機是可行的,目的達到,解散了EUVLLc聯盟,接下來的實際問題都拋給了ASmL,面對如此高深的技術,ASmL是選擇做還是不做?

  ASmL一家之力不可能完成研製成功EUV光刻機這項宏偉工程,不得不拿出公司近三成的股權,向下遊光刻機重要客戶Intel、臺積電和三星電子融資了60多億美元!

  據說爲了研發EUV光刻機,ASmL前前後後在將近20年時間內投入上百億美元的研發費用。

  GcA和Nikon佔據光刻機的高端市場,技術水平不分仲伯,但由於高端光刻機用戶Intel、Ibm、It、Adm、hp同GcA既是Sematech會員,又是GcA的股東,採用一致對外的策略,GcA的高端光刻機是首選,GcA如今佔據全球高端市場份額的近7成,NiKon佔3成多。

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